杜邦高性能弹性体KALREZ 8900部件

令狐冲

杜邦高性能弹性体推出KALREZ 8900部件
  
关键词：弹性体 全氟弹性体部件 Kalrez® 9100 杜邦
2008-10-15     来源:佳工机电网  
   
    帮助提高半导体热处理工艺中设备运转时间和晶片产量

' w* H" }6 G4 U& X; U5 V, O' X    （瑞士日内瓦，2008年10月10日）—在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上，杜邦高性能弹性体公司（DPE）重点推出专为半导体热处理过程开发的最新Kalrez® 8900全氟弹性体部件。Kalrez® 8900部件实现了在更高温度半导体制造过程中更长的密封寿命，减少了昂贵的设备停工时间，降低了设备拥有成本。
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3 g( z. j" }7 F. O5 G    DPE还公布了Kalrez® 9100部件最近在沉积、蚀刻、灰化/剥离等制程上的成功商业化，并推出了可提高光伏生产密封可靠性的Kalrez®产品。
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7 i9 [; d' Y3 i! a+ ?3 t  t    新型Kalrez® 8900部件

- O3 H$ L; ^% F1 N! m$ g! K    在半导体热处理工艺:如氧化、扩散炉、CVD、ALD 和LPCVD等的静态和动态的密封应用中，Kalrez® 8900部件使设备运转时间更长，表现优于传统工业设备维护标准。其综合性能可有效地延长设备密封寿命、提高产品质量和产能。

& \0 u' q, N" e, \* d    Kalrez® 8900部件即使在最高325摄氏度的环境下持续运作也表现出优异的热稳定性，极少漏气，抗温度循环影响表现也很出色，因而该产品已在各种严苛的半导体加工应用中成功通过测试，这些测试通常都在300摄氏度以上的高温环境下进行。推荐的应用领域包括石英管密封、高压密封、密封筒和中央环密封。
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; S  O7 n2 E5 Q% o& L& k    此次为严苛热环境推出的Kalrez® 8900部件使杜邦高性能弹性体的全氟弹性体产品系列更为完善，该系列产品包括Kalrez® 9100、Kalrez® Saharaä 8085、Kalrez® 8002和Kalrez® 6375UP等，已在晶片加工中有出色表现的产品。

1 w# x) W  Y& T1 n5 @    Kalrez® 9100

    DPE Kalrez® 9100全氟弹性体部件是最新的半透明琥珀色产品，专门针对在HDPCVD、PECVD、蚀刻、灰化/剥离制程以及非晶/微晶硅电池沉积工艺中的低腐蚀和超低颗粒要求而开发。Kalrez® 9100部件在以上环境中表现出超长的寿命，减少昂贵的设备停工损耗并降低设备维护成本。

+ s* e6 `$ x, J( f: C4 K    位于美国得克萨斯州奥斯汀的全球领先的闪存供应商Spansion公司，最近通过在使用腐蚀性的SiH4, O2,He加工环境和NF3及O2等离子体的两步清洗化学品的Fab 25工厂中改用Kalrez® 9100产品，成功的改善了原先的设备检修周期，使产量提高超过20%，设备维修成本也显著降低。
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    类似的关于Kalrez® 9100部件的应用案例还包括：

    IMEC，硅加工及设备技术部
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    奇梦达，Kalrez® 9100现在已被选择为其11个不同的DTE chamber密封套件提供密封件，并且正考虑在其他四个部位的应用。
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    欲知IMEC、奇梦达和Spansion公司的应用评价详情，以及50余个Kalrez®和Kalrez® 9100产品应用的真实成功案例，请浏览www.kalrez.com/successstories。

: r3 q4 h; p& g: n    Kalrez®部件应用于光电制造
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    不论在晶片型还是薄膜型光伏生产过程中，Kalrez® 部件均具有广泛的化学兼容性和优良的热稳定性。Kalrez® 部件可帮助使用等离子体、高温和腐蚀性学品的重要光伏晶片加工设备提高密封可靠性。光伏制造商们为了延长正常运行时间、提高产量，开始使用更有效同时更具腐蚀性的化学品和更高的温度，使得制造工艺面临更多的压力。由于密封材料的不相容而导致的计划外维护，会干扰生产计划、造成停工。由于需要更少的预防性设备维护(PM)，Kalrez® 全氟弹性体部件可显著减少停机时间，提高生产力，降低生产环境中的设备维修成本。

    Kalrez® 密封件系列的四个产品组可用于光伏生产工艺，同时也可用于多晶硅原料生产和减排系统：
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    Kalrez® PV8030：用于表面结构处理、聚硅酸盐去除和“湿”洗涤/减排应用。
4 ~; t. x* z+ m! a5 v3 h* s7 e; G    Kalrez® PV8050：用于边缘隔离、电弧喷涂、CIS/CIGS和碲化镉电池膜以及TCO沉积工艺。
$ m# @8 P% A, `( E- |; q5 ^    Kalrez® PV8070：用于掺杂，镀金属，和CIS/CIGS电池膜层沉积工艺。
    Kalrez® 9100：用于非晶/微晶硅电池膜沉积工艺。

    集成生产
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    DPE集成了从聚合物开始的生产过程，以增强质量控制和产品研发。Kalrez® 全氟弹性体部件是在获得ISO 9000认证的设施中生产的，可生产从传统密封形状和组合门封到客户定制件，范围广泛的成品部件。产品在符合Class 100标准的工作站里经过特别清洁并使用双层包装，大大减少了被污染的可能性。为了确保可追溯性，每件产品都在有条形码的袋子中独立包装。可供产品形状包括O型圈、密封垫片和客户定制密封件。

yang-z-x

很好的资料，谢谢楼主提供。

danxinyun

楼主翻译真精彩，省去我很多时间去翻译KALREZ的半导体行业的橡胶介绍，呵呵，直接套用楼主的就行
  d; p5 g2 ^) G0 H( o' o% c9 y谢了