LED 衬底蓝宝石用高纯氧化铝工艺情报交流

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氧化铝晶体导报    工艺情报交流  记者  李博民   高工  2011-10-20

- T) I9 ^$ t$ B- Z8 v# y长LED蓝宝石的5N 氧化铝 ，铁必须小于5pp， 硅小于5pp， 锆小于1pp ，钛小于1pp，铜小于1ppm，镍小于1pp，钇、镓，铅、 钾、钠小于1ppm 否则不能用。
4个9的氧化铝虽然可以长出晶体，但是由于不是5n氧化铝，晶体晶棒质量就差一些。
6 f& V) |7 O1 f  y有的长出晶体就透明度不好，不很白，易有粉色、黄色等颜色不纯。
1 h  p) h2 R" n6 r! m0 K2 H) r1 u7 [有的即使长出较白的透明晶棒，但由于纯度不够，杂质较多，晶体存在晶格缺陷，位错大于1000，造成外延加工时候镀砷化镓晶格位错不准，做出的芯片后LED不发光，或发光率低，造成下游客户没法用。进而后期进而退货影响到晶棒的销售和认可和产品质量长久信誉。 好的晶棒做出的片、做出芯片翻发光率高于于90% 。有的厂家只有30% ，醇铝法作出的晶棒所做的芯片发光率可达90%以上。 所以并不是长出晶棒就可以了，还要镀上砷化镓后看位错数量、晶格是否匹配，看反光率亮度指标才是最关键。才能为晶棒的长期销售做个好头开个好基础。多个公司、研究机构使用VK-L100KG,  VK-100G高纯氧化铝粉、粒料，都长出了优质大尺寸蓝宝石晶体 。VK-L100KG,  VK-100G氧化铝纯度达到99.999%；高纯氧化铝长出的晶体位错率小于300，晶体合格率大于90%，使用率大于80%才是好的5n氧化铝原料，否则达不到质量经济指标。

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