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[外文] 求英语高手翻译

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发表于 2009-1-5 14:05:33 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请高手帮忙翻译,是半导体制造行业用橡胶件的技术文件
- A1 d  D7 @  o( z Kalrez® 8002 is a clear, transparent product targeted specifically for select semiconductor plasma and gas deposition applications, i.e. etching, ashing, HDPCVD, PECVD, SACVD, etc. This unfilled product offers ultra-low particle generation in oxygen and fluorine-based plasmas versus mineral-filled products. Kalrez® 8002 exhibits excellent resistance to dry process chemistry, has good mechanical strength properties and is well suited for static, low stress/low sealing force and select bonded door seal applications. A maximum continuous service temperature of 275°C (527°F) is suggested. Ultrapure post cleaning and packaging is standard for parts made from Kalrez® 8002.6 n& T- i( t/ A2 F
Performance Features/Benefits
4 `7 E# N/ _" t• Ultra-low particle generation in oxygen and fluorine-based plasmas
. h4 s4 v$ b6 d0 y3 b; _2 j• Excellent (low) compression set properties, p( ~) L- {1 l
• Excellent thermal stability% H0 g( n" C0 F( r2 @1 ~' W
• Excellent resistance to dry process chemistry6 C. J; w. ~1 G* _- ]9 m+ ?
Suggested Applications' B- e4 D3 Q- M1 P) i2 E
• Gas inlet seals
! J/ J2 L! R, L8 c% S: I• Gas orifice seals
' W: a1 `1 B$ f  ]• Gas feedthrough seals
6 t  s: [$ e/ f• Select slit valve bonded door seals
7 }0 N1 Y6 R% k• Other static and low stress/low sealing force applications. D" [5 Q5 e6 u8 \1 x" U& k
  Kalrez® 8002 has been reported to significantly improve wafer production in semiconductor HDPCVD, SACVD and PECVD applications where fluorinated plasmas, i.e., NF3, C3F8, etc. are used during the cleaning cycle. In a number of evaluations at fabline customers, Kalrez 8002 exhibited improved crack resistance, lower particle generation and longer seal life compared to competitive perfluoroelastomers in both static and dynamic sealing applications.
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发表于 2009-1-5 14:26:54 | 显示全部楼层
你也太懒了,自己试着翻译,单词一个一个查。要不然水平怎么会提高?
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发表于 2009-1-5 14:31:51 | 显示全部楼层
Kalrez ® 8002是一个明确的,透明的产品专门针对选择半导体血浆和天然气沉积的应用,如蚀刻,灰化, HDPCVD , PECVD法, SACVD等,填补产品提供超低粒子产生的氧气和氟的等离子体与矿物填充型产品。 Kalrez ® 8002展品极好的抗化学干燥过程,具有良好的机械强度和性能非常适合静态的,低应力/低盖章生效,并选择保税门密封应用。最高连续使用温度275 ℃ ( 527 ℉ )的建议。超纯后清洗和包装标准的部分由Kalrez ® 8002 。 0 _" C, p" ?9 _( P7 n
/ S与E3展U5 P * Q )的素E1 X本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn性能功能/利益 7 l, O4 ?. K3 P2 G5 {% c2 \9 |
(金(如M3的w7瓦特“ J8 ž j & H公司本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn •超低粒子产生的氧气和氟的等离子体本文来自:橡胶技术网www.sto 。 net.cn1乙#的W - M5型命令与征服! F2代? @
# I! r4 S7 y8 M1 v•优异的(低)压缩性能 ' r- U8 R; D$ [* T1 _8 l
。 N9号Y4 [ 9 + ö % W9的W & Ÿ本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn •良好的热稳定性本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn # R0 ? , U1路啊, Ÿ ) G2期Ť
! ?  ^$ `1 G# ^1 A* @; G, }  ]•优异的耐化学干燥过程本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn4 R2的r !一:格A1 V1导联体育| ; E0 ž % w& R, W0 p8 b4 h9 c: I
建议应用
7 D6 h. A/ v( B6 s/ p' `# \ -的S - o0的C1钨条ñ % \ 4 ž本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn •天然气进口海豹本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn ( F2代改为H级; @ )笔B0的K5第十i5的o6型号: _ . s6 e. R9 {% J
•气口密封 ( T: e, h# ?) J' O4 O
:中四至中的S /五米的“ T我: ]本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn •燃气馈海豹
! y# E  N5 {3 s5 w4 j( b! a4 Y5 }. A% B的%格A1瓦/ ? %男女%素B2服务器; P本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn •选择狭缝阀保税门封条   E5 l, p! I1 G1 @* Y5 C
% ` ( ž +七国集团u0 ö本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn •其他静态和低应力/低密封力应用 $ H5 i+ r* x! k3 K5 t- |$ H; }# X
$宽+答:一, G0 Q )规% 〜本文来自:橡胶技术网www.sto.net.cn Kalrez ® 8002据报道,以大幅度提高晶圆生产的半导体HDPCVD , SACVD和PECVD应用氟等离子体,即,三氟化氮, C3F8等过程中使用的清洁循环。在一些评价fabline客户, Kalrez 8002展出提高抗裂性,降低粒子的产生和长期封闭的生活相比,竞争力perfluoroelastomers在静态和动态密封应用: _' D, M4 l! R2 R+ A% [" u* f
这是在线翻译结果
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发表于 2009-1-5 14:41:09 | 显示全部楼层
建议楼主翻译了拿中英文对照上来 大家可以润色一下嘛
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 楼主| 发表于 2009-1-15 09:08:43 | 显示全部楼层
就是因为翻译之后,句子不通顺,所以,一直不能解决
4 j! {( M+ d! E! a另外,有一些专业设备的名称适合的中文,翻译起来就是别扭
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 楼主| 发表于 2009-1-15 09:12:01 | 显示全部楼层
下面是我自己翻译的,大家看看通顺吗?专业词语我还是找不到通顺的称呼  A0 ?- T* R; ]2 o/ S7 O3 ]+ }
Kalrez®8002是一个无色透明的产品,应用特定的等离子半导体和气相沉积工艺,如刻蚀,灰化,HDPCVD,PECVD,SACVD等。Kalrez®8002是无填充型产品,即使在氟和氧基础上的等离子体环境中也只是有极其低的粒子产生。Kalrez®8002在干燥工艺环境中体现极其稳定的性能,同时具有很好的机械强度,非常适合应用于静态的低压力/低密封力的select bonded door 密封。Kalrez®8002最高连续使用温度275℃(527°F)。标准产品Kalrez®8002是在超洁净环境中清洗和包装的。
- K7 E# @  o. l% k) \; w推荐应用- o9 D6 g3 L6 {( v# W9 d; S# g
——Gas inlet密封
3 r; y& U9 R! N! O; U9 }1 p; Z——Gas orifice密封
* L9 g4 q8 C3 n& V——Gas feedthrough密封: D, b& P! _: f% I: A9 n: n
——Select slit valve bonded door密封% l% j1 a6 M( g) i2 E' I
——其他静态的低压力或低密封力的应用/ p- z( B6 g! O! _! v2 K- n, d; }
半导体工厂选择Kalrez®8002用于改进生产工艺! a4 c- @2 |% d
据报道,Kalrez®8002改善了半导体晶片的HDPCVD,SACVD和PECVD的生产工艺,因为这些工艺在循环清洗过程中会使用到含氟的等离子体,如NF3、C3F8等。制造商提供了一份具有价值的数据,Kalrez®8002比其他竞争对手的全氟橡胶在动态或静态的密封应用具有更强的抗龟裂,更低的微粒子产生和更长的密封寿命。

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参与人数 1胶分 +2 技术指数 +2 收起 理由
meteor-liu + 2 + 2 我很看好你哦!

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发表于 2009-2-25 12:28:41 | 显示全部楼层
好好,真的很精彩!学啊!
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